一般多晶硅碳含量的单位有两个，1、ppma；2、 at/cm3。没有你说的那个吧。

at/cm3是原子密度

半导体工业里定义硅每立方厘米硅中有5e22个硅原子

ppmw、ppbw是以质量计的浓度，w是weight（重量）

ppma、ppba是以原子数计的浓度，a是atom（原子）

如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为质量浓度（ppmw或者ppbw）

可以用：杂质的原子密度×杂质元素的原子量/（5e22×28）=杂质的质量浓度（ppmw或者ppbw）

其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数，28是硅的原子量

如果要将高纯硅中痕量杂质的原子密度转换为原子数浓度（ppma或者ppba）

可以用：杂质的原子密度/5e22=杂质的原子数浓度（ppma或者ppba）

其中5e22是每立方厘米硅中硅的原子数

1ppma=1*10-6=C的原子密度/5e22=5*1016 at/cm3