湿度=（干氧-湿氧）/干氧；其中干氧是烟气分析仪测量的氧，因为烟气预处理设备理论上已经将烟气内的水汽除掉了，所以测量的是不含水的干氧，烟道上的氧量仪测量的是湿氧（一般为氧化锆）。新型的一般是烟道上或者CEMS间机柜内预处理前直接安装湿度仪，这样是直接取数参与计算。