微机电系统工程专业专注于光、机、电技术的一体化研究，其深厚的理论基础和丰富的研究成果为微机电系统技术的发展提供了强大的支撑。该专业深入探讨了微纳米和微机电系统，包括微泵、微传感器、微加速度计等微器件的设计、制造和工艺优化，以及相关基础理论的探究。

研究领域广泛，涵盖了微陀螺和微惯导系统的研发，微光学器件的设计与应用，以及微测量技术的创新。此外，该专业还扩展到了微型航空器，如小飞机和小卫星的设计，以及微米卫星的开发。在纳米摩擦学领域，专业人员也在探索新的理论和应用。最后，光盘机读写头微型机构的精细制造和优化也是该专业的重要研究内容。

总的来说，微机电系统工程专业致力于推动微电子技术与传统机械工程的交叉融合，为微电子器件的微型化和系统集成提供了前沿的技术支持和理论指导。