几何量精密仪器，热工量精密仪器等。精密型电子设备是指精致细密，用在机械、电子行业，就是指制造的东西精度非常高，误差非常小，包括几何量精密仪器，热工量精密仪器，机械量精密仪器，时间频率精密仪器，电磁精密仪器。几何量精密仪器主要包括检测各种几何量的精密仪器，如立式测角仪、激光干涉比长仪、经纬仪、三坐标测量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等。