光电信息科学与工程专业、电子信息工程专业。

1、根据查询长春理工大学显示：光电信息科学与工程专业主要涉及光电子技术、信息处理技术、控制技术等多个领域，与光刻机专业接近。

2、电子信息工程专业：主要研究电路设计、数字信号处理、通信原理等内容，与光刻机中的电子部分相关。

3、长春理工大学是吉林省、国家国防科技工业局、长春市共建高校，教育部批准的卓越工程师教育培养计划实施学校，国家级大学生创新创业训练计划实施学校。